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      ? 潔凈無塵烘箱

      產品簡介

      產品規格

      一、產品特點及用途

         1.產品特點

           該設備是一種新型工業級潔凈干燥設備,采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。

         2. 產品用途

           產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。


      二、產品詳細參數;

         1.箱體結構

          1.1.內膽材質:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板,滿焊處理,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE1。

          1.2.外殼材質:外部采用1.2mm厚優質冷軋鋼板經防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質。

          1.3.保溫材質:采用120K高級保溫棉,六面保溫斷熱,保溫厚度為80mm-150mm,保溫性能好。

          1.4 載物層架:可根據物品大小調節層間距,空間利用率高。

         2. 溫度控制系統:日本歐姆龍智能溫度控制器,定值恒溫控制模式,PID自動演算,帶傳感器斷線報警功能,帶超溫警報保護功能,確保產品運行安全。

         3. 控溫方式

          3.1.訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。

          3.2.輸出被控組件:SSR固態無節點輸出,確保加熱功率精準。

         4.  箱內熱風循環系統

          4.1. 送風方式:箱內采用水平送風或垂直送風。

          4.2. 風道結構:風道兩側采用高密度沖孔風板,精準控制導流板角度,確保箱內溫度均勻性。

          4.3. 送風裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經水平糾正處理,確保運風平穩 ,噪聲≤65dB。

          4.4. 送風裝置安全保護系統:帶超溫過載過流保護功能,確保馬達及風機的使用壽命和安全性能。

          4.5電加熱系統:采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發生器,潔凈不產塵(無縫潔凈不銹鋼覆套,高絕緣導熱改性氧化鎂澆筑,無名火,安全不漏電)

         5.潔凈循環系統

          5.1采用平面水平后邊送風后,經耐高溫高效過濾器H.E.P.A裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,0.3um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內潔凈度可達Class 100。

          5.2排氣口:3"φ(附自動啟閉風門),以達到強烈循環效果而降溫。

          5.3壓差計:進口壓差計,可實時監控H.E.P.A工作狀態。

          5.4配全自動開關風門,烘烤過程風門緊閉,確保內部對外封閉,防止外部排風PARTICLE回塵污染

        6.整機安全保護系統

          6.1. 采用三重超溫保護系統,確保箱體在運行過程中的整體安全性能(詳見技術參數)。

          6.2. 箱體內部電器保護系統(確保箱體內部電器運行平穩,安全可靠):

          6.2.1.超溫防止器(獨立限溫,超溫斷電);

          6.2.2.相序保護(欠壓欠相保護);

          6.2.3.馬達過電流保護;

          6.2.4.控制線路保險絲;

          6.2.5.電熱過電流保護;

          6.2.6.無熔絲開關。

      潔凈烘箱規格一覽表:

      型號            GRD150CLASS GRD180CLASSGRD360CLASSGRD480CLASSGRD640CLASS   
      溫度范圍            RT(常溫)+10~200℃/250℃/300℃ (可訂制最高溫度600℃)            
      溫度分辨率            0.1℃            
      溫度波動度            ±1.0℃            
      溫度均勻性            ≤±1.5%            
              箱內潔凈度                                 Class10/Class100/Class1000/Class10000 (可根據客戶要求定制)
      容積                  150L            180L               360L                   480L                640L         
      內膽尺寸(寬W*深D*高H)mm500×500×600600×500×600600×600×1000 800×600×1000800×800×1000 
      外部尺寸(寬W*深D*高H)mm720×880×1390820×880×1390820×980×1790 1020×980×1790 1020×1180×1790  
      層板數量                      2塊                    2塊                 3塊                    3塊                    4塊            
      功率                    6KW               7KW8KW     11KW           13.5KW        
      電源電壓            AC 380V 50HZ(三相五線制)            

      備注: 1. 以上所有機型外觀尺寸僅供參考,實際尺寸以實物為準;

                 2. 產品內部尺寸可根據客戶要求進行非標定制。 


      選配組件:

          1.程序多段控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現100段程序控溫。

          2.測試孔:可在側面加裝Φ50mm測試孔。

          3.無紙多點溫度記錄儀:無紙多點溫度記錄儀(4/6/9/12通道),可實時監控記錄溫度變化狀況。

          4.可加裝MES系統。

          5.日本三菱PLC+臺灣威綸觸摸屏人機交互界面。


      內外融合的先進技術

      公司引進日本技術,結合國內使用特點研發一系列控溫控濕存儲設備,做到了國外一流技術與國內先進制造技術的完美結合。?產品通過CE、ROHS等認證,大部分產品擁有自主知識產權,獲得多項國家專利,性能達到國際領先水平。

      高于同行的設備品質

      核心原配件均來自honeywell、西門子、施耐德、三菱等國際知名品牌。整機使用壽命10年以上;氮氣使用量節約50%以上,除濕效率高;采用優良不銹鋼內膽,耐腐蝕、耐高溫。

      先進進口的生產設備

      采用瑞士生產激光切割機設備和日本進口的AMADA板金設備、數控折彎機、數控沖床、剪板機等生產設備,制作精度高;焊接采用芬蘭和日本進口氣體保護焊、氬弧焊機,柜體密閉性好。

      立足客戶的售后服務

      根據客戶需求及時交貨不影響客戶使用
      達不到使用要求,免費退貨
      產品整機保修,質保期內,免費更換元器件
      深圳、廈門及全國各大城市均有售后網點

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      采用美原裝HONEYWELL品牌,具有高精度、高穩定性特點。

      高亮度LED整屏,溫濕度獨立顯示。中央控制器采用模塊化內蔵設計,安全可靠。濕度設定具有記憶功能,斷電后無需重新設定,全自動運行,無需人為看管。

      與日本技術合作,采用日本進口高分子吸濕材料,并獲中國專利。外殼采用進口耐高溫塑料粒子壓制而成,耐有不變形。

      柜體采用數控沖床和數控板金設備生產,制造精度高,密閉性好。

      防爆鋼化玻璃,門拉手采用平面加壓一體化把手鎖,具有防盜功能。

      采用UL CE認證的Switching power電源供應系統。

      加強結構設計,強度高,載重大。高度可隨意調節,空間利用率高。

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